| 是否进口：否 | 品牌：大塚电子 | 型号：OPTM |
| 尺寸：参考说明书 | 类型：参考说明书 | 适用范围：参考说明书 |
| 重量：参考说明书 | 加工定制：否 | 规格：参考说明书 |
半导体膜厚测试仪-OPTM
R&D ！ QC ！ 植入设备！ 都可简单实现高精度测量！
测量目标膜的反射率，实现高精度膜厚和光学常数测试！ （分光干渉法）
半导体膜厚测试仪特 长 Features
·膜厚测量中必要的功能集中于头部
·通过显微分光高精度测量反射率（多层膜厚、光学常数）
·1点只需不到1秒的高速tact
·实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外～近红外）
·通过区域传感器控制的安全构造
·搭载可私人定制测量顺序的强大功能
·即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数
·各种私人定制对应（固定平台，有嵌入式测试头式样）
测量项目 Measurement item
·反射率测量
·膜厚解析
·光学常数解析（n：折射率、ｋ：消光系数）
构成图
式 样Specifications
※ 上述式样是带有自动XY平台。
※ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。
＊ 膜厚范围是SiO2换算。
