| 加工定制：是 | 品牌：SRS | 型号：PPR系列 |
| 测量范围：参考说明书 | 测量对象：真空 | 测量精度：参考说明书 |
| 尺寸：PPR系列mm | 重量：参考说明书kg | 电源：参考说明书 |
PPR系列过程检测系统
主要应用：真空在线检测；高真空成份分析；MOCVD等在线过程监控；10mTorr-10Torr真空度内反应过程检测等等
0.01, 0.1, 1.0 or 10 Torr inlet pressure
PPR系列过程检测系统 特点
3 × 10?5 Torr-L/s flow rate
2 second response time (0.1 Torr)
100, 200 or 300 amu systems
Field-replaceable electron multiplier and filament
6 orders of magnitude dynamic rang
